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無塵凈化車間用于控制產品(如硅片)在大氣中的清潔度、溫度和濕度,使產品在良好的環境中生產制造。根據國際慣例,每立方米空氣中的顆粒直徑大于劃分標準中的顆粒數量。它不是無塵的,它是一個單位。哪怕是一點點灰塵也會產生很大的負面影響,所以必須對車間進行無塵清潔。無塵凈化車間進風系統。新風過濾箱、中央凈化空調(中央凈化空調分一級/中級/三級過濾段),末端有送風口。必須安裝凈化增壓箱和回風系統。回風出口、初濾器、中效回風箱、緩沖區。緩沖區門應配備電子聯鎖裝置、潔凈室、空氣清新器、空氣淋浴室、貨物淋浴室和傳送窗,主要傳送小物件。在一些區域,工作臺、層流罩(FFU)、潔(jie)凈(jing)(jing)棚(移動凈(jing)(jing)化(hua)棚)、自凈(jing)(jing)化(hua)裝置的(de)安裝要求達到10-1000級。用于測量潔(jie)凈(jing)(jing)室(shi)的(de)清(qing)潔(jie)度,激光塵埃粒子計數器。
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